特許

J-GLOBAL ID：200903035475934010

部品を検査する方法

発明者： ヤゴーブ・マーダヴィ ,  クリスティナ・ヘレナ・バルボーグ・ヘデングレン
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 生沼 徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244462
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240840
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 幾何学的に複雑な形状をもつ部品を検査する新規な方法を提供する。【構成】 複数個の同様な形を持つ構造部分を有する部品を検査する方法が、構造部分の内の少なくとも1つの部分の面をプローブで走査し42,44及び46、部品に渦電流を誘起し、走査中に受取った渦電流信号から少なくとも1つの部分の2次元像を作成し48,50及び52、この像は2次元に配列された多数の画素を含み、各々の画素はマトリクス配列内での画素の位置に対応する部品の位置で部品に誘起された渦電流に応答するグレースケール強度を持ち、像を予め処理して、全ての構造部分に共通の幾何学的な特性及び背景雑音によって生じた像の背景画素強度に対する任意の画素のグレースケール強度の変化又は信号を実質的に減少し、予め処理された像から欠陥の疑いのある領域を同定し、この領域に対する欠陥信号を決定し、欠陥信号が所定の基準値を越える場合、部品を排除する工程を含む。

請求項（抜粋）：

同じ様な形状の複数個の構造部分を持つ部品を検査する方法であって、同じ様な形状を持つ構造部分の内の少なくとも1つの部分の面を渦電流プローブ手段を用いて走査して部品に渦電流を誘起し、走査中に受取った渦電流信号から前記少なくとも1つの部分の2次元像を生成し、該像は2次元配列に配置された多数の画素を持っていて、各々の画素がマトリクス配列内の画素の位置に対応する部品位置で部品に誘起された渦電流に応答するグレースケール強度を持ち、幾何学的な特性並びに全ての同じ様な形状をした構造部分に共通の背景雑音によって生ずる信号を実質的に減少する様に像を予め処理し、該予め処理する工程で予め処理された像から欠陥の疑いのある領域があれば、該領域を同定し、欠陥の疑いがある各々の領域に対する欠陥信号を決定し、何れかの欠陥信号が所定の基準値を越えた場合に前記部品を排除する工程を含む方法。

IPC (6件)：

G01N 27/90 ,  G06F 15/21 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/62 420 ,  G06F 15/64 ,  H04N 7/18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-082155