特許
J-GLOBAL ID：200903035495692390
ガスフローセンサ及びその形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250828
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103996
出願日： 1993年10月06日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 製造工程の作業時間を短縮でき、かつ、小型化できるガスフローセンサの構造及びその形成方法を提供する。【構成】 検出素子25の一端を基板10の表面に固定してあり、残りの部分を基板と非平行、かつ、非接触状態としてある。従って、検出素子25の基板10と非平行、かつ、非接触な部分(検出部25b)は、基板の上方に突出した状態になる。このため、基板に沿って流れるガスに対して検出部は良好に接触する。
請求項（抜粋）：
基板と、検出素子とを具えるガスフローセンサにおいて、前記検出素子の一端を前記基板に固定してあり、残りの部分を、前記基板と非平行、かつ、非接触状態としてあることを特徴とするガスフローセンサ。
IPC (5件)：
G01P 5/10
, G01F 1/68
, H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 29/84
