特許
J-GLOBAL ID：200903035497246400
測定方法及び装置、並びに、イメージ化方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074551
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277393
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 計算量を低減しかつ安定して精度良く複素屈折率を測定する。【解決手段】 発生部7で発生したテラヘルツパルス光を被測定物20に透過させる。その透過光を検出器11で検出し、所定周波数の振幅透過率及び位相差を得る。これらと被測定物20の複素屈折率との関係を示す式に基づいて、逐次近似により被測定物20の複素屈折率を求める。この式は、テラヘルツパルス光の前記被測定物の内部での多重反射を反映したものである。前記逐次近似において、複素屈折率の近似解を与えて複素屈折率の新たな近似解を得るに際し、光が被測定物20の周囲の媒質から被測定物20へ入射するときの透過率、光が被測定物20から媒質へ出射するときの透過率、及び、多重反射に基づく項を、与えた近似解にて定まる既知数として取り扱うことにより、新たな近似解を得る。
請求項（抜粋）：
被測定物の複素屈折率又は複素誘電率を測定する測定方法であって、テラヘルツパルス光の発生部と該発生部から発生して所定の光路を経て到達するテラヘルツパルス光を検出する検出部とを用いて、前記光路上に前記被測定物を配置した状態で、前記テラヘルツパルス光を前記被測定物に照射することにより前記被測定物を透過して前記検出部により検出されるパルス光の、電場強度の時系列波形である計測時系列波形を取得する段階と、前記光路上に前記被測定物に代えて所定の試料を配置した状態であるいは前記光路上に前記被測定物も前記試料も配置しない状態で、前記発生部から発生されて前記検出部にて検出されるパルス光の、電場強度の時系列波形である基準時系列波形と、前記計測時系列波形との関係に基づいて、前記被測定物の複素屈折率又は複素誘電率を演算する演算段階と、を備え、前記演算段階は、(a)前記計測時系列波形をフーリエ変換して得た所定周波数の振幅と前記基準時系列波形をフーリエ変換して得た前記所定周波数の振幅との比である前記所定周波数の振幅率を求める段階と、(b)前記計測時系列波形をフーリエ変換して得た前記所定周波数の位相と前記基準時系列波形をフーリエ変換して得た前記所定周波数の位相との位相差を求める段階と、(c)前記所定周波数の前記振幅率及び前記所定周波数の前記位相差と前記被測定物の前記所定周波数の複素屈折率又は複素誘電率との関係を示す式に基づいて、逐次近似により当該複素屈折率又は複素誘電率を求める段階と、を有し、前記式は、前記テラヘルツパルス光の前記被測定物の内部での多重反射を無視したものであり、前記逐次近似において、複素屈折率又は複素誘電率の近似解を与えて複素屈折率又は複素誘電率の新たな近似解を得るに際し、光が前記被測定物の周囲の媒質から前記被測定物へ入射するときの透過率及び光が前記被測定物から前記媒質へ射出するときの透過率を、与えた近似解にて定まる既知数として取り扱うことにより、新たな近似解を得る、ことを特徴とする測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/35 Z
, G01N 21/41 Z
2G059AA02
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059FF08
, 2G059FF09
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059JJ14
, 2G059JJ24
, 2G059KK01
, 2G059MM01
