特許
J-GLOBAL ID：200903035497545408
荷電粒子ビーム装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135051
出願日： 1989年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】観察対象となる微細部品を取り扱うことの可能な荷電粒子ビーム装置を提供すること。【解決手段】先端部に部品を把持する支持機構と、この支持機構を移動する移動手段を備えるようにした荷電粒子ビーム装置。移動手段の一例には、積層型圧電ブロック3を連結したものがある。
請求項（抜粋）：
収束した荷電粒子ビームを照射するための荷電粒子ビーム光学系と、上記荷電粒子ビームの照射対象から発生する二次荷電粒子を検出するための検出器と、該検出器で得られた二次荷電粒子に基づいて荷電粒子像を形成する画像表示装置を備えた荷電粒子ビーム装置において、先端部に部品を支持する支持機構と、該支持機構を移動する移動手段を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, B25J 7/00
, G01N 23/225
H01J 37/20 D
, B25J 7/00
, G01N 23/225
