特許

J-GLOBAL ID：200903035503794296

気体レートセンサ

発明者： 白木 郁夫
出願人/特許権者： 多摩川精機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322472
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130138
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、気体ポンプの気体出口孔を複数設けることにより、ノズルを通過する気体流を片寄りのないバランスのとれた流れとすることを目的とする。【解決手段】 本発明による気体レートセンサは、気体ポンプ(4)の気体出口孔(4b)が表板(4B)に複数個設けられていることにより、外周通路(1d)からノズル(8)に向かう気体流(20b、20c)が片寄りのないバランスのとれたものとなり、検出精度が向上する構成である。

請求項（抜粋）：

ケーシング(1)内に設けられた少なくとも一対の線状センサ(7a、7b)と、前記ケーシング(1)内に設けられた気体ポンプ(4)と、前記ケーシング(1)の内側に設けられ前記ケーシング(1)との間に外周通路(1d)を形成するためのガイド筒体(1a)と、前記ガイド筒体(1a)の一端に設けられたノズル(8)とを備え、前記気体ポンプ(4)から供給された気体流(20a)が前記外周通路(1d)及びノズル(8)を経て前記線状センサ(7a、7b)に供給され、前記各線状センサ(7a、7b)間の抵抗値差に基づいて角速度入力を検出するようにした気体レートセンサにおいて、前記気体ポンプ(4)の気体出口孔(4b)は、前記気体ポンプ(4)の表板(4B)に複数個設けられていることを特徴とする気体レートセンサ。

IPC (3件)：

F04B 45/047 ,  G01C 19/00 ,  G01P 9/00

FI (3件)：

G01C 19/00 A ,  G01P 9/00 A ,  F04B 45/04 103 C

Fターム (8件)：

3H077AA11 ,  3H077BB10 ,  3H077CC01 ,  3H077DD06 ,  3H077EE15 ,  3H077FF14 ,  3H077FF55 ,  3H077FF60

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-220516
  
• 特開昭60-107517
  
• 特開平4-220516
  
• 特開昭60-107517