特許
J-GLOBAL ID:200903035512702264
通信信号ミキシング/フィルタリング・デバイスおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
坂口 博 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-180600
公開番号(公開出願番号):特開2002-094328
出願日: 2001年06月14日
公開日(公表日): 2002年03月29日
要約:
【要約】【課題】 カプセル封止されたマイクロ電気機械システム(MEMS)デバイスを用いる、通信信号のミキシング/フィルタリング・システムおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 簡単な単一構造のマイクロ電気機械システム(MEMS)デバイスは、信号のミキシング・ステップとフィルタリング・ステップとを組み合わせる。このMEMSデバイスは、従来技術の既存のデバイスに比べて、小型かつ安価で、構造および動作において信頼性が高い。
請求項(抜粋):
単一構造の通信信号ミキシング/フィルタリング・デバイスであって、a)クランプされた両端を有する細長い振動可能な機械的共振素子を備え、この共振素子は、絶縁材料で構成され、一方の面上に設けられた第1の導電層と、他方の面上に設けられた第2の導電層とを有し、b)前記第1の導電層に発振器信号(LO)を供給する手段と、c)前記第2の導電層に電力を供給する手段と、d)前記第1の導電層に近接して配置され、入力信号(IS)が供給される第1の導体素子と、e)前記第2の導電層に近接して配置された第2の導体素子とを備え、前記共振素子は、前記入力信号(IS)と発振器信号(LO)との電気的相互作用により発生した結合力に振動的に応答して、入力信号(IS)および発振器信号(OS)の混合周波数と、前記共振素子の振動の固有周波数とを示す出力信号(IF)を発生する、デバイス。
IPC (5件):
H03D 7/00
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H03H 9/24
, H04B 1/26
FI (5件):
H03D 7/00 Z
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H03H 9/24 Z
, H04B 1/26 B
Fターム (4件):
5K020EE04
, 5K020GG11
, 5K020HH13
, 5K020MM00
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