特許
J-GLOBAL ID：200903035516026565
パーティクルセンサーヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田原 寅之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350511
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164682
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】各種ガスのプラズマ光が存在する真空装置内においても正確に作動するパーティクルモニター用のセンサーヘッドを提供する。【構成】パーティクルが侵入する開口 11 を側部に有する筒状のケーシング1内に、ビーム光Lの進む方向とパーティクルが侵入する方向で形成される仮想面と対面するフィルター4と、ビーム光が開口から侵入したパーティクルに衝突して発生する散乱光がフィルターを透過して検出される光検出器5が配置されたパーティクルセンサーヘッドにおいて、ケーシングの軸線方向に長い開口に、内面が光散乱もしくは光吸収する煙突状のガイド部材8を突設する。
請求項（抜粋）：
パーティクルが侵入する開口を側部に有する筒状のケーシング内に、光源と、この光源からの光をビーム状に形成する光学系と、このビーム光の進む方向とパーティクルが侵入する方向で形成される仮想面と対面するフィルターと、ビーム光が該開口から侵入したパーティクルに衝突して発生する散乱光がフィルターを透過して検出される光検出器と、ビーム光を受け止めるビームストッパーとが配置されたパーティクルセンサーヘッドであって、前記開口はケーシングの軸線方向に長い長孔であり、この開口に、内面が光散乱もしくは光吸収する煙突状のガイド部材が突設されたことを特徴とするパーティクルセンサーヘッド。
IPC (2件)：
引用特許：
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