特許

J-GLOBAL ID：200903035516236764

光学式顕微鏡

発明者： 佐野 秀和
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-131762
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333509
出願日： 1994年06月14日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】安全性を損なうことなく、プリズムの損傷を未然に防止できるうえ、レーザ光のエネルギーの利用効率が高い光学式顕微鏡の提供。【構成】検査対象物を直接観察するための直接観察光学系と、検査対象物にレーザ光を照射可能なレーザ加工光学系とを備えた光学式顕微鏡1に、前記直接観察光学系の観察光路P3 および前記レーザ加工光学系のレーザ光路P4 の交差する所定位置Cに配置されるプリズム25と、このプリズム25にレーザ光が当たらないようにレーザ光路P4 を遮断するシャッタ28とを移動可能にする。加工時にプリズム25およびシャッタ28をレーザ光路P4 から後退させ、レーザ光がプリズム25で吸収・分散されること、および、プリズム25の損傷を防止する。

請求項（抜粋）：

検査対象物に光を照射し、その反射光または透過光を接眼レンズを通して観察可能な直接観察光学系と、検査対象物にレーザ光を照射可能なレーザ加工光学系とを備えた光学式顕微鏡であって、前記直接観察光学系の観察光路および前記レーザ加工光学系のレーザ光路の交差する所定位置に配置されるプリズムと、このプリズムにレーザ光が当たらないようにレーザ光路を遮断するシャッタと、前記プリズムを前記レーザ光路から外れたプリズム退避位置および前記所定位置の間で移動可能に支持するプリズム移動機構と、前記シャッタを前記レーザ光路を遮断する遮断位置および前記レーザ光路から外れたシャッタ後退位置との間で移動可能に支持するシャッタ移動機構とを有することを特徴とする光学式顕微鏡。