特許

J-GLOBAL ID：200903035518026678

基板を処理するための設備における搬送装置

発明者： ヴォルフ-エカルト フリーシェ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  池田 成人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-029351
公開番号（公開出願番号）：特開2008-199021
出願日： 2008年02月08日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
要約：

【課題】搬送ラインに沿って基板を幾つかの処理セクションの中に連続的にインライン搬送するための連続する搬送セグメントを具備する搬送装置に関し、小さなサイクルタイムを保証するために、搬送装置の機能を改善する。【解決手段】少なくとも2つの対等な移動式組合せセグメント10を有する移送手段9によって達成され、その組合せセグメント10によって、基板8を所定の位置に配置することができ、搬送ライン4に交互に割り当てられる状態にある組合せセグメント10は、搬送セグメント5を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

移送手段が、基板を静止処理位置に一枚ずつ配置するために提供され、幾つかの処理セクションの中を通る搬送ラインに沿って前記基板を連続的にインライン搬送するための連続する搬送セグメントを具備する前記基板を処理するための設備とりわけ真空コーティング設備における搬送装置において、 前記移送手段(9)が、少なくとも2つの対等な移動式組合せセグメント(10)を有し、前記組合せセグメント(10)によって、前記基板(8)を所定の位置に配置することができ、前記搬送ライン(4)に交互に割り当てられる状態にある前記組合せセグメント(10)が、搬送セグメント(5)を形成することを特徴とする、搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z

Fターム (18件)：

5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA18 ,  5F031GA53 ,  5F031GA57 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA07 ,  5F031LA15 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA21 ,  5F031NA05 ,  5F031NA08 ,  5F031NA09