特許
J-GLOBAL ID：200903035533941498
X線反射鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015248
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230194
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】軟X線やX線の反射率が高く、高強度の軟X線源やX線源に対して使用可能なX線反射鏡を得る。【構成】ブラッグ回折効果を有する多層膜の軽元素層1中に、フラーレンを含有させる。
請求項（抜粋）：
複数の層対が積層され、ブラッグ回折効果を有する多層膜構造のX線反射鏡において、上記多層膜の軽元素層中にフラーレンを含むことを特徴とするX線反射鏡。
引用特許：
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