特許
J-GLOBAL ID：200903035544151855

感放射線性樹脂組成物

発明者：
大泉 芳史

大泉 芳史 について

, 
志水 誠

志水 誠 について

, 
宇高 友広

宇高 友広 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 小島 清路 ,  萩野 義昇 ,  谷口 直也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-234584
公開番号（公開出願番号）：特開2008-058538
出願日： 2006年08月30日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
【課題】レジストとしての基本物性に優れており、特にアルカリ性現像液への溶解性及びエッチング耐性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本感放射線性樹脂組成物は、(A)式(1)で表される酸解離性基を有する繰り返し単位を含有し、酸解離性基が解離した際にアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、(B)酸発生剤とを含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される酸解離性基を有する繰り返し単位を含有し、且つ酸の作用によって該酸解離性基が解離した際にアルカリ可溶性となるアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、(B)感放射線性酸発生剤と、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/12
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/12
Fターム (24件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA15P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM