特許
J-GLOBAL ID：200903035553278442
ペリクル構造体及びペリクル構造体内部の雰囲気置換方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-312950
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133961
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】ペリクル構造体内部のO2濃度を容易に減少させられるペリクル構造体を得る。【解決手段】ペリクルフレーム3とペリクルフレーム3の上面に接着されたペリクル板4とからなるペリクル構造体であって、マスク5にペリクル構造体が装着された状態でペリクル構造体内部にガスを導入するためのガス導入孔1とペリクル構造体内部からガスを排出するためのガス排出孔2とを有する。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームとペリクルフレームの上面に接着されたペリクル板とからなるペリクル構造体であって、マスク又はレチクルにペリクル構造体が装着された状態でペリクル構造体内部にガスを導入するためのガス導入孔とペリクル構造体内部からガスを排出するためのガス排出孔とを有することを特徴とするペリクル構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
