特許

J-GLOBAL ID：200903035560611262

欠陥検査装置

発明者： 内木 裕 ,  田中 利彦
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (3件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  河野 哲
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2002009762
公開番号（公開出願番号）：WO2003-027652
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

本発明の欠陥検査装置は、試料を検査位置で一定の速度で少なくとも一方向に直線的に移動させる移動手段と、この移動手段により移動される前記試料の表面と裏面を照明する照明手段と、この照明手段により照明される前記試料を前記一定の速度で移動させながら前記試料の表面と裏面の全面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により取り込まれた前記試料の表面と裏面の全面の画像データを画像処理して前記試料の表面及び裏面の欠陥を検査する欠陥検査手段と、を具備している。

請求項（抜粋）：

試料を検査位置で一定の速度で少なくとも一方向に直線的に移動させる移動手段と、 この移動手段により移動される前記試料の表面と裏面を照明する照明手段と、 この照明手段により照明される前記試料を前記一定の速度で移動させながら前記試料の表面と裏面の全面を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段により取り込まれた前記試料の表面と裏面の全面の画像データを画像処理して前記試料の表面及び裏面の欠陥を検査する欠陥検査手段と、 を具備したことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/956 ,  G01N21/958 ,  H01L21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  G01N21/958 ,  H01L21/66 J