シャドウマスクの外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119768
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331561
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】シャドウマスクの外観検査装置で透過光検査を行なう場合、検査する透過光の角度を好ましい角度に自動設定を行なう外観検査装置。【構成】シャドウマスクを検査位置に対して移動する被検査体テーブル、検査位置を透過光で検査する検査用光源および検査用受光素子、これらの検査用光源、検査用受光素子を検査位置に対して任意の角度に設定する角度設定機構などを具備するシャドウマスクの外観検査装置において、前記の角度設定機構の角度を自動制御する角度設定制御機構を具備し、少なくとも受光素子の出力の最大値(Smax)と最小値を(Smin)を得、これらの最大値(Smax)と最小値(Smin)より最適値(Sbes)を演算し、受光素子の出力信号が最適値(Sbes)となるように前記角度設定制御機構を制御することにより角度を設定して検査することを特色とする、シャドウマスクの外観検査装置。

請求項（抜粋）：

被検査体(M)を検査位置(P)に対して移動し、走査する被検査体テーブル(10)、検査位置(P)を透過光で検査する検査用光源(20)および検査用受光素子(30)、これらの検査用光源(20)、検査用受光素子(30)を検査位置(P)に対して任意の角度に設定する角度設定機構(60)、回転アーム(62)、受光素子支持腕(64)、光源支持腕(65)などを具備するシャドウマスクの外観検査装置において、前記の角度設定機構(60)の角度を自動制御する角度設定制御機構(80)を具備し、少なくとも受光素子の出力の最大値(Smax)と最小値を(Smin)を得、これらの最大値(Smax)と最小値(Smin)より最適値(Sbes)を演算し、受光素子の出力信号が最適値(Sbes)となるように前記角度設定制御機構(80)を制御することにより角度を設定して検査することを特色とする、シャドウマスクの外観検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24

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