特許
J-GLOBAL ID：200903035573932661
ペースト塗布機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-196244
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050467
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 ノズル吐出口の位置が変動しても、ノズルと基板を所望の位置関係に位置決めして正確にペーストを塗布描画することができるようにする。【構成】 ペーストを吐出するノズル1に対向させて基板7をテーブル上に保持し、ノズル1からペーストを吐出させつつノズル1とテーブルを相対的に移動させて、基板7上に所望のパターンでペーストを塗布するが、ノズル1の吐出口の位置を計測する手段と、この手段の計測結果からノズル1を交換した際のペースト吐出口の位置変動を算出する手段と、この算出手段で得た結果から交換後におけるノズル吐出口に対して基板7を所望位置に位置決めする手段を設けた。
請求項（抜粋）：
ペースト収納筒に収納されたペーストを吐出するノズルに対向させて基板をテーブル上に保持し、該ノズルからペーストを吐出させつつ該ノズルと該テーブルとの相対位置関係を変化させ、該基板上にペーストを塗布して所望形状のペーストパターンを形成するようにしたペースト塗布機において、該ノズルの交換に際し、該ノズルのペースト吐出口の位置を計測する第1の手段と、該第1の手段の計測結果から該ノズルのノズル吐出口の位置ずれ量を算出する第2の手段と、該第2の手段で得られた該位置ずれ量に応じて該基板の位置調整をする第3の手段とを設け、ノズルの交換に伴なうノズルの位置ずれを除去可能に構成したことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (2件)：
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