特許

J-GLOBAL ID：200903035579165816

ガス分離回収装置

発明者： 村瀬 洋 ,  平野 嘉彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 木内 光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320335
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143580
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 SF6 ガスを含む混合ガスからSF6 ガスを極めて高い回収率でしかも効率良く迅速に回収可能なガス分離回収装置を提供する。【解決手段】 吸着筒4には、SF6 ガスを吸着せず、窒素ガスや酸素ガスなどの自然ガスを吸着しやすい吸着剤が充填され、吸着筒4は、吸着過程と脱着(再生)過程を繰返す。吸着過程において吸着剤に吸着されずに吸着筒4を通過したSF6 ガス濃度の高いガスを、コンプレッサ2b、熱交換器6からなる液化装置33により液化回収する。吸着過程と脱着(再生)過程の繰返し中における、吸着過程後の脱着(再生)過程の前に、非吸着ガスパージ系統31により乾燥圧縮空気や窒素ガスなどのパージガスを注入して吸着筒4内のガスを追い出す。脱着(再生)過程においては、吸着剤に吸着されたガスとパージガスを、吸着ガス放出系統31により大気中に放出する。

請求項（抜粋）：

SF6 ガスを含む混合ガスからSF6 ガスを分離して液化回収し、他のガスを外部に放出するガス分離回収装置において、SF6 ガスをほとんど吸着せず、SF6 以外のガスを吸着する吸着剤を充填してなり、吸着過程と脱着(再生)過程を繰返す吸着筒と、前記吸着筒の吸着過程において前記吸着剤に吸着されずに吸着筒を通過したガスを液化回収する液化装置と、前記吸着筒の吸着過程と脱着(再生)過程の繰返し中における、吸着過程後の脱着(再生)過程の前に、前記吸着筒内にパージガスを注入して吸着筒内のガスを追い出す非吸着ガスパージ系統と、前記吸着筒の脱着(再生)過程において前記吸着剤に吸着されたガスと前記パージガスを外部に放出する吸着ガス放出系統とを有することを特徴とするガス分離回収装置。

IPC (3件)：

H01H 33/56 ,  B01D 53/04 ,  H02B 13/055

FI (4件)：

H01H 33/56 T ,  H01H 33/56 C ,  B01D 53/04 G ,  H02B 13/06 M

Fターム (15件)：

4D012CA20 ,  4D012CB12 ,  4D012CD03 ,  4D012CD07 ,  4D012CE03 ,  4D012CF03 ,  4D012CF04 ,  4D012CF05 ,  4D012CG05 ,  4D012CH06 ,  4D012CJ02 ,  4D012CJ05 ,  5G017DD07 ,  5G028GG05 ,  5G028GG24