シャドウマスクの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312578
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157867
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】フォトエッチング法を用いたシャドウマスクの製造方法において、開口不良が生じず、品質の良いシャドウマスクが得られるシャドウマスクの製造方法を提供する。【解決手段】フォトエッチング法を用いたシャドウマスクの製造方法において、シャドウマスク金属素材の一方の面を上面として、一方の面に第一エッチングを行った後、水平搬送されるシャドウマスク金属素材の上下面を反転させる手段を設け、もう一方の面を上面としたうえでもう一方の面に第二エッチングを行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

請求項（抜粋）：

両面に所定パターンに従って一部金属面を露出させているレジスト膜が形成され、搬送手段上を略水平方向に搬送される板状のシャドウマスク金属素材の一方の面よりスプレーエッチングを行い、この一方の面の金属露出部分に凹部を形成する第一エッチング工程と、前記第一エッチング工程にて形成された凹部に樹脂を塗布してこの凹部内部に樹脂を充填、硬化しエッチング防止層を形成する工程と、前記エッチング防止層の設けられた面とは反対側のシャドウマスク金属素材のもう一方の面よりスプレーエッチングを行い、もう一方の面から前記一方の面に形成された凹部に通じる凹孔を形成し、金属素材を貫通した開口を得る第二エッチング工程と、前記エッチング防止層とレジスト膜を剥膜除去する剥膜工程とを少なくとも行うことで得られるシャドウマスクの製造方法において、シャドウマスク金属素材の前記一方の面を上面として、前記一方の面より第一エッチングを行った後、搬送されるシャドウマスク金属素材の上下面を反転させる手段を設け、前記もう一方の面を上面としたうえで、前記もう一方の面より第二エッチングを行うことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。

IPC (2件)：

C23F 1/00 , H01J 9/14

FI (2件)：

C23F 1/00 C , H01J 9/14 G

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-070186
特開昭60-070185
特開平3-277783

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