特許

J-GLOBAL ID：200903035594518997

膜厚検査装置

発明者： 小山 元夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-287860
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111654
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】ウエハのパターンを取り込むための光学系を必要とせず、またウエハが速く動いているような状況でも、パターンの変化に影響されずに安定して膜厚の検査をすることができる装置を提供する。【解決手段】それぞれ同一の回路パターンが形成された複数個のチップ領域13に区画された基板6のパターン面6aに光束を照射し、パターン面6aで反射し又は基板6を透過した光束を検出することにより、パターン面6aの膜厚を検査する膜厚検査装置において、パターン面6aを照明する光束の照明領域14の形状として、照明領域14を構成する個々の領域ΔS14が、1又は複数個のチップ領域13を構成する個々の領域ΔS13とほぼ過不足なく対応するように形成した。

請求項（抜粋）：

それぞれ同一の回路パターンが形成された複数個のチップ領域に区画された基板のパターン面に光束を照射し、該パターン面で反射し又は前記基板を透過した光束を検出することにより、前記パターン面の膜厚を検査する膜厚検査装置において、前記パターン面を照明する前記光束の照明領域の形状として、該照明領域を構成する個々の領域が、1又は複数個の前記チップ領域を構成する個々の領域と平行な関係にてほぼ過不足なく対応するように形成したことを特徴とする膜厚検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  G01B 11/06

FI (3件)：

H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 M ,  G01B 11/06 Z