特許
J-GLOBAL ID：200903035597019738
イオン加速装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-141191
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325200
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】[目的] イオン源及び質量分離磁石の位置を固定しても及び形状一定でもイオン加速管に導入する所望のイオンの電流値を容易に最大に調整し得るイオン加速装置を提供すること。[構成] 駆動スリットチャンバ80内にケーシング81をその底壁部に固定し、この下流側端壁部には真空モータ84を取り付け、この駆動軸とカップリング80を介してねじロッド86を他の端壁に取り付けたベアリング87で回動可能に支持させケーシング81の上端面に、スリット板88を支持する支柱90に固定させた駆動板89を摺動自在に支持させ、これに固定させたねじブロックSをねじロッド86に螺合する。
請求項（抜粋）：
少なくともイオン源、質量分離磁石、分析スリット板を内蔵させたケーシングを地上より所定の高さに配設させ、高電圧電源装置により前記ケーシングに所定の高電圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分離磁石などに電力を供給し、前記ケーシングと、該ケーシングを電磁気的に遮蔽するシールドボックスとの間にイオン加速管を接続し、前記イオン源のイオン放射口、前記質量分離磁石の磁極間、前記分析スリット板及び前記イオン加速管の入口を順次結ぶイオン流路は相連通する真空室内にあって、前記分析スリット板のスリットは該イオン流路に対し垂直に配設されているイオン加速装置において、前記分析スリット板を前記イオン流路に沿って駆動する機構を設けたことを特徴とするイオン加速装置。
IPC (2件)：
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