特許

J-GLOBAL ID：200903035606691002

強誘電性材料表面用研磨剤及び研磨方法

発明者： ジェームズ エフ.ベルチャー ,  ハワード アール.ベラタン ,  ポール.オー.ジョンソン
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082605
公開番号（公開出願番号）：特開平8-112741
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】 強誘電性材料、特にペロブスカイト材料、更に一層特別にはチタン酸バリウムストロンチウムを研磨する方法。【構成】 研磨しようとする表面を最初に機械的摩耗により部分的に滑らか又は平坦にし、酸、好ましいくは過塩素酸、酢酸、硝酸、及びそれらの組合せである酸と、過酸化水素と、水とを本質的に含む酸性溶液を用いて砥石で化学研磨することにより最終的に滑らか又は平坦にする研磨方法。

請求項（抜粋）：

(a) 研磨しようとする強誘電性表面を与え、(b) 0より大きな或る量から約80体積%までの、有機酸、鉱酸、還元性酸、酸化性酸、及びそれらの組合せからなる群から選択された酸、0より大きな或る量から約80体積%までの強酸化剤、及び残余の水を含む酸性溶液を前記表面に適用し、そして(c) 前記懸濁物を上に有する前記表面を研磨用表面で研磨する、諸工程からなる強誘電性材料を研磨する方法。

IPC (3件)：

B24B 1/00 ,  C04B 41/91 ,  C09K 13/06