ステージ制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329925
公開番号（公開出願番号）：特開平5-143106
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】逆システムを用いたステージ制御装置を一段と容易かつ安定化して実現する。【構成】目標関数から制御量(ステージ位置)までの伝達関数を「1」とするような制御システムを構成することにより、制御量及び目標関数を一致させることができ、高精度なステージ制御を行うことができる。またリアルタイムな微分処理を行う必要のない逆システムを用いることにより、容易かつ安定なステージ制御をすることができる。

請求項（抜粋）：

制御対象の制御量の目標となる目標関数及び当該目標関数の導関数を発生する関数発生手段と、制御対象の特性を計算手順及びパラメータとして保存し、当該計算手順及びパラメータ及び上記目標関数及び上記導関数に基づいて制御対象を制御するための制御入力を算出する演算手段とを具えることを特徴とするステージ制御装置。

IPC (4件)：

G05B 13/02 , G05D 3/12 305 , H01L 21/027 , H01L 21/68

前のページに戻る