搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331468
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163077
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】反応室内へのウェーハの入れ替え時間を短縮し、搬送を含めた全体のプロセス時間を短縮する。【解決手段】2対の第1、第2アームを上下に2組備えた搬送装置でそれぞれの第2アームの先端にはホルダを取り付けウェーハを搭載可能とした。そのアームの前後方向移動は上下のアームを独立に動作させることが可能な構造とした。回転動作はこの2組のアームが同時に又は独立して回転可能な構造とした。

請求項（抜粋）：

回転可能な4本の第1アームと第1アームの先端で回転可能な4本の第2アームを備え、それぞれ2本の第1、第2アームが対をなしており、当該第1アームを駆動モータで回転駆動し、さらに対となる第1アームのそれぞれ1本が一定の間隔をあけて配置した2個の同軸内外2軸の駆動軸のそれぞれ任意の1個の軸に結合し、さらにこれらの駆動軸を取り付けた円盤の回転を行う回転駆動系を備え、第2アームの先端に取り付けた上下位置に配置した2個のホルダが半径方向の直進移動を独立して行うことが可能とし、当該ホルダの回転を行うことを特徴とする搬送装置。

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