結晶引上炉内融液表面温度測定方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304960
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129911
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】放射温度計を用いて、結晶引上炉内融液表面の温度を温度変化の追従性良く連続的に、そして迷光を除去して高精度に測定すること。【構成】ヒータ3により坩堝1内の融液2が加熱され、単結晶4を成長させる。このとき、融液2の測定点Aからの熱放射光と、測定点Aにて反射する、放射源(測定点B)からの放射光(迷光)とが放射温度計6に入射される。測定点Bからの熱放射光は、直接2色放射温度計7にも入射する。そして、放射温度計6及び2色放射温度計7からの出力信号が、演算部8に入力され、そして、融液2の測定点Aの温度が算出され、出力される。この演算部8からの出力信号は電力供給制御部9に入力される。電力供給制御部9では、入力信号に応じてヒータ3の電力を制御し、融液2の温度を維持する。

請求項（抜粋）：

放射温度計で結晶引上炉内の融液の表面温度を測定する温度測定方法において、前記融液の表面の一点からの熱放射光の輝度を前記放射温度計にて検出する過程と、前記一点にて反射し、前記放射温度計に入射する熱放射光の放射源の温度を測定する過程と、前記輝度及び前記温度から前記融液の表面温度を算出する過程とを有することを特徴とする温度測定方法。

前のページに戻る