特許
J-GLOBAL ID：200903035614965065
水晶振動子法蒸着膜厚測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172028
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023245
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】水晶振動子法蒸着膜厚測定装置において、水晶振動子用の冷却水および配管を必要としないで、精度の高い膜厚測定を実現させる。【解決手段】真空装置1内の試料3と水晶振動子5に蒸着源2からの蒸着材料が蒸着され、水晶振動子5に蒸着された蒸着膜厚を水晶振動子法で測定することで試料3の蒸着膜厚とみなす。この蒸着膜厚測定は、発振回路7で水晶振動子5に固有振動を起こさせ、この固有振動周波数を周波数測定回路8で検出し、この固有振動数を計算処理回路9で蒸着膜厚に換算することでなされるが、この換算において水晶振動子付近の温度を温度測定回路6により検出して温度補正がかけられる。
請求項（抜粋）：
蒸着材料を水晶振動子に蒸着させて、その蒸着膜厚に応じて変化する前記水晶振動子の固有振動周波数を検出し、この固有振動数を蒸着膜厚に換算する水晶振動子法蒸着膜厚測定装置において、前記水晶振動子の周辺温度を測定する温度測定手段と、この温度測定値に基づき前記固有振動周波数に温度補正をかける補正手段とを備えて成ることを特徴とする水晶振動子法蒸着膜厚測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 17/02 A
, G01N 5/02 A
