電気光学装置、電気光学装置用の駆動基板、及びこれらの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-285476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111952
出願日： 1998年10月07日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】高い電子/正孔移動度の単結晶シリコン薄膜を比較的低温でかつ均一に成膜して、高性能ドライバ内蔵のアクティブマトリクス基板と、これを用いた表示用薄膜半導体装置等の電気光学装置の製造を可能とし、高いスイッチング特性と低リーク電流を有するLDD構造を有するnMOS又はpMOSTFTの表示部と、高い駆動能力のCMOS又はn又はpMOSTFT又はこれらの混在からなる周辺回路とを一体化した構成を可能とし、高画質、高精細、狭額縁、高効率、大画面化の表示パネルを実現することができ、しかも歪点が比較的低い大型のガラス基板であっても使用でき、生産性が高く、高価な製造設備が不要であってコストダウンが可能となり、更に、しきい値調整が容易であって低抵抗化による高速動作を可能にすること。【解決手段】基板1に形成した結晶性サファイア膜50をシードにして触媒CVD法等により単結晶シリコンをヘテロエピタキシャル成長させ、得られる単結晶シリコン層7を表示部-周辺駆動回路一体型のLCDなどの電気光学装置のデュアルゲート型MOSTFTに用いる。

請求項（抜粋）：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置において、前記第1の基板の一方の面上にゲート電極とゲート絶縁膜とからなるゲート部が形成され、前記第1の基板の前記一方の面上に、単結晶シリコンと格子整合の良い物質層が形成され、この物質層及び前記ゲート部を含む前記第1の基板上に単結晶シリコン層が形成され、この単結晶シリコン層をチャンネル領域、ソース領域及びドレイン領域とし、前記チャンネル領域の上部及び下部に前記ゲート部をそれぞれ有するデュアルゲート型の第1の薄膜トランジスタが前記周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成していることを特徴とする、電気光学装置。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 , G09F 9/30 343 , H01L 21/20 , H01L 29/786 , H05B 33/26

FI (7件)：

G02F 1/136 500 , G09F 9/30 343 Z , H01L 21/20 , H05B 33/26 Z , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 617 N , H01L 29/78 626 C

Fターム (123件)：

2H092JA02 , 2H092JA24 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB67 , 2H092KA03 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092MA05 , 2H092MA06 , 2H092MA08 , 2H092MA09 , 2H092MA10 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA25 , 2H092MA27 , 2H092MA29 , 2H092MA30 , 2H092NA05 , 2H092NA07 , 2H092NA19 , 2H092NA26 , 2H092NA27 , 2H092PA01 , 2H092PA08 , 2H092PA13 , 2H092QA07 , 2H092QA08 , 2H092QA10 , 2H092QA11 , 2H092QA13 , 2H092QA14 , 2H092QA15 , 3K007AB02 , 3K007AB03 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB06 , 3K007CA01 , 3K007CA02 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DA02 , 3K007DB02 , 3K007DC02 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 5C094AA02 , 5C094AA05 , 5C094AA10 , 5C094AA13 , 5C094AA14 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA46 , 5C094AA60 , 5C094BA23 , 5C094BA27 , 5C094BA29 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094ED02 , 5C094FB01 , 5C094FB02 , 5F052JA02 , 5F052JA03 , 5F052JA04 , 5F052KA01 , 5F052KA05 , 5F110AA01 , 5F110AA16 , 5F110AA28 , 5F110BB02 , 5F110CC06 , 5F110CC08 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110EE02 , 5F110EE23 , 5F110EE27 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG24 , 5F110GG32 , 5F110GG44 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL02 , 5F110HL06 , 5F110HL23 , 5F110HL27 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN35 , 5F110NN47 , 5F110NN54 , 5F110QQ05 , 5F110QQ11

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