特許

J-GLOBAL ID：200903035619149681

レンズアレイフォトリソグラフィ

発明者： エルマー・クルマン ,  ラインハルト・フォルケル ,  カリン・エム・ウェルズ
出願人/特許権者： ハグル・リソグラフィ
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-517318
公開番号（公開出願番号）：特表2001-521278
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：

【要約】基板にフォトリソグラフィ露光するための装置および方法は、基板上に像をつくるために光を供給する照明源と、基板上に投影されるパターンを有するマスクと、基板上に複数のレンズチャネルを介して光を投射するレンズアセンブリと、干渉の影響を抑えるために、マスクおよび基板と平行な平面内でレンズアセンブリを移動させるアクチュエータとを有する。

請求項（抜粋）：

基板上に像をつくるために光を供給する照明源と、 前記基板上に投影されるパターンを有するマスクと、 前記基板上に複数のレンズチャネルを介して光を投射するためのレンズアセンブリと、 干渉の影響を抑えるために、前記マスクおよび前記基板と平行な平面内で前記レンズアセンブリを移動させるアクチュエータと、を備えた、基板にフォトリソグラフィ露光するための装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (6件)：

5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046CC15