特許

J-GLOBAL ID：200903035622546918

耐腐食性が高められた多環式レジスト組成物

発明者： サイクマル・ジャヤラマン ,  ブライアン・エル・グッドール ,  ラリー・エフ・ローデス ,  ロバート・エイ・シック ,  リチャード・ヴィカリ ,  ロバート・ディ・アレン ,  ジュリアン・オピッツ ,  ラトナム・ソーリヤクマラン ,  トーマス・ワロウ
出願人/特許権者： ザ ビー.エフ.グッドリッチ カンパニー ,  インターナショナル ビジネス マシーンズ コーポレーション
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532454
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504573
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】ペンダント芳香族基を含む多環式ポリマーが開示されている。このポリマーは深UV波長に対し光透明性の性質を示し、高解像度光平板法への応用に有用である。これらのポリマーは特に化学増幅型ポジおよびネガ型階調レジストに特に有用である。

請求項（抜粋）：

芳香族ペンダント置換基を有する1種類以上の多環式モノマーを、酸不安定性ペンダント置換基を有する1種類以上の多環式モノマー、中性または極性ペンダント置換基を有する1種類以上の多環式モノマー、ヒドロカルビルペンダント置換基を有する1種類以上のモノマーおよびこれらの組み合わせよりなる群から選択されるモノマーと任意に組み合わせて含有するモノマー組成物から重合された多環式ポリマーであって、該芳香族置換基含有モノマーは、構造式【化1】ここでR1〜R4は、独立に、水素あるいは、Rが水素または直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキルである-(CH2)C(O)ORであり、そしてR1〜R4の少なくとも1つが、-G、-(CH2)nG、-C(O)O(CH2)nG、-C(O)NH(CH2)nG、-(CH2)nOG、-(CH2)nOC(O)O(CH2)nGおよび-(CH2)nNHC(O)Gよりなる群から選択される芳香族含有置換基であり;mは0〜5の整数であり;nは、独立に、0〜5の整数を表し;そしてGは、-OR14、R15およびこれらの組み合わせよりなる群から選択される少なくとも1つの置換基によって置換された芳香族基であり、ここでR14は水素、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキル、-C(O)CH3、テトラヒドロピラニル、t-ブチルを表しそしてR15は水素、臭素、塩素、フッ素、ヨー素、シアノおよび-C(O)O-t-ブチル基を表す;R1およびR4は、これらが結合する2つの環員炭素原子と一緒になって、炭素数が6〜14である置換された芳香族基を形成することができ、ここで該置換基は、前述の式:-OR14またはR15で表される少なくとも1つの部分から選択され;R1およびR4は、これらが結合する2つの環員炭素原子と一緒になって、前述のGで置換される異種原子を少なくとも1つ含有する5員複素環式基を形成する、で表され;該酸不安定性基含有モノマーは、構造式【化2】ここでR5〜R8は、独立に、下記の基、すなわち-(A)nC(O)OR*、-(A)nC(O)OR、-(A)n-OR、-(A)n-OC(O)R、-(A)n-C(O)R、-(A)n-OC(O)OR、-(A)n-OCH2C(O)OR*、-(A)n-C(O)O-A’-OCH2C(O)OR*、-(A)n-OC(O)-A’-C(O)OR*、-(A)n-C(R)2CH(R)(C(O)OR**)、および-(A)n-C(R)2CH(C(O)OR**)2から選択される置換基を表す、ただしR5〜R8の少なくとも1つがR*を含有する酸不安定性基から選択されることが前提であり;AおよびA’は、独立に、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキレンから選択される二価の炭化水素基と、式【化3】ここで「a」は2〜7の整数であり、Rqは、存在するのであれば、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキル基を表す、で表される置換および非置換(C3〜C8)脂環式部分から選択される二価の環式炭化水素基と、式【化4】ここでxは1〜5の整数であり、yは2〜50の整数である、ただしポリエーテルスペーサー部分における末端酸素原子が隣接する基における末端酸素原子と直接結合して過酸化物結合を形成することはできないものとする、で表される(C2〜C10)アルキレンエーテルおよびポリエーテルから選択される二価の酸素含有基と、構造式【化5】で表される二価の環状エーテルおよび環状ジエーテルから選択される二価のブリッジングまたはスペーサー基を表し、そしてR*は、Dcpm、Dmcp、-C(CH3)3、-CH(Rp)OCH2CH3、-CH(Rp)OC(CH3)3、およびRpが水素および直鎖状または分岐鎖状の(C1〜C5)アルキル基を表す環式基【化6】またはこれらの組み合わせから選択される酸不安定性基である、で表される酸不安定性基含有モノマーであり;該中性または極性基含有モノマーは、構造式【化7】ここでqは0〜5の整数であり;R9〜R12は、独立に、水素、直鎖状または分岐鎖状の(C1〜C10)アルキル、または下記の基、すなわち-(A)nC(O)OR’’、-(A)n-OR’’、-(A)n-OC(O)R’’、-(A)n-OC(O)OR’’、-(A)n-C(O)R’’、-(A)n-OC(O)C(O)OR’’、-(A)n-O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-OC(O)-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)-A’-OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-OC(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-O-A’-C(O)OR’’、-(A)n-C(O)O-A’-OC(O)C(O)OR’’、-(A)n-C(R’’)2CH(R’’)(C(O)OR’’)、および-(A)n-C(R’’)2CH(C(O)OR’’)2から選択される置換基を表し、R9およびR12は、これらが結合する2つの環員炭素原子と一緒になって、環状無水物基を表し;AおよびA’は、独立に、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキレンから選択される二価の炭化水素基と、式【化8】ここで「a」は2〜7の整数であり、Rqは、存在するのであれば、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキル基を表す、で表される置換および非置換(C3〜C8)脂環式部分から選択される二価の環式炭化水素基と、式【化9】ここでxは1〜5の整数であり、yは2〜50の整数である、ただしポリエーテルスペーサー部分における末端酸素原子が隣接する基における末端酸素原子と直接結合して過酸化物結合を形成することはできないものとする、で表される(C2〜C10)アルキレンエーテルおよびポリエーテルから選択される二価の酸素含有基と、構造式【化10】で表される二価の環状エーテルおよび環状ジエーテルから選択される二価のブリッジングまたはスペーサー基を表し、R’’は、独立に、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルコキシアルキレン、ポリエーテル、単環式および多環式(C4〜C20)脂環式部分、環状エーテル、環状ケトン、および環状エステルを表す、で表される中性または極性基含有モノマーであり;そして該ヒドロカルビル含有モノマーは、式【化11】ここでR13〜R16は、独立に、水素および直鎖状および分岐鎖状の(C1〜C10)アルキルを表し;そしてmは0〜5の整数を表す、で表されるヒドロカルビル含有モノマーである、ことを特徴とする多環式ポリマー。

IPC (7件)：

C08F 32/08 ,  C08F 4/80 ,  C08F232/08 ,  C08G 61/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601

FI (7件)：

C08F 32/08 ,  C08F 4/80 ,  C08F232/08 ,  C08G 61/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601

Fターム (91件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  4J015DA09 ,  4J032CA32 ,  4J032CA34 ,  4J032CB03 ,  4J032CC03 ,  4J032CD01 ,  4J032CF01 ,  4J032CG00 ,  4J100AR09P ,  4J100AR09Q ,  4J100AR09R ,  4J100AR09S ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100AR11R ,  4J100AR11S ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA05P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA06R ,  4J100BA08Q ,  4J100BA08R ,  4J100BA10Q ,  4J100BA10R ,  4J100BA11R ,  4J100BA13Q ,  4J100BA14P ,  4J100BA14Q ,  4J100BA14R ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA20R ,  4J100BA22P ,  4J100BA22Q ,  4J100BA22R ,  4J100BA34P ,  4J100BA35P ,  4J100BA40P ,  4J100BB01P ,  4J100BB03P ,  4J100BB05P ,  4J100BB07P ,  4J100BC02Q ,  4J100BC02R ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC04Q ,  4J100BC04R ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43P ,  4J100BC44P ,  4J100BC48P ,  4J100BC49P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC58Q ,  4J100BC58R ,  4J100CA05 ,  4J100FA08 ,  4J100JA38