特許
J-GLOBAL ID：200903035622827143
蛍光X線分析方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-277664
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340823
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 FP法もしくはSFP法またはそれらに用いる装置において、1次X線が測定線の属する殻よりも内殻を励起する場合にも、元素の含有率を正確に算出できる蛍光X線分析方法および装置を提供する。【解決手段】 試料13中の各元素から発生する蛍光X線6の理論強度に、内殻励起の緩和によって生じる空孔をさらに緩和するために発生する特性X線の理論強度も含めて、蛍光X線の理論強度を計算し、試料13における元素の含有率を算出する。
請求項（抜粋）：
試料が載置される試料台と、試料に1次X線を照射するX線源と、試料から発生する蛍光X線の強度を測定する検出手段と、仮定した元素の含有率に基づいて、試料中の各元素から発生する蛍光X線の理論強度を計算し、その理論強度と前記検出手段で測定された強度に基づく強度とが一致するように、前記仮定した元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、試料における元素の含有率を算出する算出手段とを備え、前記理論強度に、内殻励起の緩和によって生じる空孔をさらに緩和するために発生する特性X線の理論強度が含まれている蛍光X線分析装置。
Fターム (13件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001FA01
, 2G001FA02
, 2G001FA16
, 2G001FA30
, 2G001GA01
, 2G001HA01
, 2G001JA11
, 2G001KA01
