特許

J-GLOBAL ID：200903035623885554

感光性樹脂組成物

発明者： 指田 暢幸 ,  番場 敏夫 ,  山本 光弘
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203591
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051512
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【構成】 特定のポリアミド酸エステル100重量部と特定構造のグリコールエーテル50〜500重量部とからなる感光性樹脂組成物。【効果】 シリコンウエハ等に塗布した際に、はじき及びピンホール現象が認められず、シリコンウエハ面内の膜厚バラツキを極めて小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

式(1)で示されるポリアミド酸エステル100重量部と式(2)で示されるグリコールエーテル50〜500重量部とからなる感光性樹脂組成物。【化1】R7-(OCH2CH2)W-OR8 (2)ここでR7,R8:CH3又はC2H5W:1〜3の整数

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 514 ,  H05K 3/06 ,  C08F299/02 MRU

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-317553
  
• 特開平1-283554
  
• 特開昭64-061746
  
• 特開平1-113460
  
• 特開昭62-215264