特許
J-GLOBAL ID：200903035629862505
内周刃ブレードの切断状態監視装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243190
公開番号（公開出願番号）：特開平6-091633
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 内周刃ブレードによって切り出される半導体ウェハの品質を向上させることができるようにする。【構成】 内周刃ブレード1を用いてシリコンインゴット8から半導体ウェハを切り出すウェハ切断装置に設けられた内周刃ブレードの切断状態監視装置であって、切断抵抗を圧電型切削動力計7によって監視すると共に、切断抵抗アラーム設定器12によって切断抵抗アラーム値を任意に設定できるものとし、その設定値と圧電型切削動力計7の測定値を切断抵抗測定値比較部11で比較し、上記設定値を上記測定値が超えたときに運転停止指令16を出力し、内周刃ブレード1のドレッシングを行うための最適時期であるとする。
請求項（抜粋）：
内周刃ブレードを用いてシリコンインゴットからウェハを切り出すウェハ切断装置に設けられ、切断抵抗を監視する圧電型切削動力計と、切断抵抗アラーム値を任意に設定可能な切断抵抗アラーム設定器と、該切断抵抗アラーム設定器による設定値を前記圧電型切削動力計の測定値が超えたときに運転停止指令を出力する切断抵抗測定値比較部とを具備することを特徴とする内周刃ブレードの切断状態監視装置。
IPC (5件)：
B28D 5/00
, B23Q 15/00
, B23Q 17/09
, B28D 1/22
, H01L 21/304 311
