特許
J-GLOBAL ID：200903035651901646
印字ヘッド用ノズル板の製作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-192233
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193142
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】【目的】 配向依存性エッチングを用いてルーフシュータ型印字ヘッド用のアパーチャ板を製作する方法を提供する。【構成】 シリコンウェーハに対して2段階式配向依存性エッチングを行なって、シリコンウェーハの一つの面にトラフを形成し、及び、このトラフと同じまたは反対の面に複数のアパーチャを形成する。
請求項（抜粋）：
ルーフシュータ型熱インクジェット印字ヘッドのためのノズル板を製作する方法において、(a)配向依存性エッチングによってシリコンウェーハの第1の平坦面にトラフをエッチングする段階を有し、前記トラフは所定寸法の底壁を形成するように前記シリコンウェーハを通って全体の厚さよりも短く延び、前記底壁と前記シリコンウェーハの前記第1の平坦面から反対の第2の平坦面との間の距離は前記ノズル板の一部を包含するノズルの厚さを決定し、更に、(b)前記第2の平坦面上に耐エッチング性マスクを置く段階を有し、前記マスクはその上に複数のアパーチャを形成するパターンを含んでおり、更に、(c)配向依存性エッチングによって前記底壁と前記シリコンウェーハの前記第2の平坦面との間に前記第2の平坦面から複数のノズル形成用アパーチャをエッチングする段階を有しており、前記複数のノズル形成用アパーチャは前記底壁の所定寸法内に形成され、前記複数のノズルの前記エッチングは前記トラフを形成するエッチングとは別個の独立のエッチング段階であることを特徴とするノズル板製作方法。
引用特許：
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