特許

J-GLOBAL ID：200903035653654859

フォトレジスト組成物のための反射防止膜用水性コーティング材

発明者： ダラム・デイナ・エル ,  マカロック・イアン ,  ダメル・ラルフ・アール ,  ルー・ピン-ハン ,  カン・ミン ,  カンナ、ディネッシュ・エヌ ,  ディング・シュージ
出願人/特許権者： クラリアント・インターナショナル・リミテッド
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-510085
公開番号（公開出願番号）：特表2001-500982
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】本発明は、新規の反射防止膜用水性コーティング材及びそれをフォトリソグラフに使用する方法に関する。この反射防止膜用コーティン材は新規のポリマー及び水を含み、ここで、この反射防止膜用コーティング材の新規ポリマーは、約180nm〜約450nmを吸収する染料を含む少なくとも一種の単位、架橋性基を含む少なくとも一種の単位、及び親水性ビニルモノマーまたは親水性になることができるビニルモノマーから誘導される少なくとも一種の単位を含む。

請求項（抜粋）：

水及び以下の単位を含むポリマーを含有する、フォトリソグラフに使用するための反射防止膜用水性コーティング材: a) 以下の構造 [式中、R1〜R4は、H、(C1〜C4)アルキルまたは(C1〜C4)アル コキシであり、 R5は、OH、NH2、OCH3またはOCH2CH3であり、 R6は、H、(C1〜C4)アルキルまたは(C1〜C4)アルコキシであり 、 R7は、H、(C1〜C4)アルキルまたは(C1〜C4)アルコキシ、また はニトロであり、 R8は、ニトロ、SONH2、COOY、SO3Y(YはH、アルカリ金属 、 アンモニウムまたはアルキルアンモニウムである)であり、 Xは共役部分、例えばN=N、CZ=CZ、CZ=N、N=CZ(Zは、 H、(C1〜C4)アルキルまたは(C1〜C4)アルコキシである)であ り、 mは1〜3であり、そしてnは1〜4である] を有する少なくとも一種の染料単位; b) 以下の構造 [式中、R1〜R4は、H、(C1〜C4)アルキルまたは(C1〜C4)アルコ キシであり、そしてYは架橋性基を含む] を有する少なくとも一種の単位;及び c) 親水性ビニルモノマーまたは親水性になることができるビニルモノマーか ら誘導される少なくとも一種の単位。

IPC (5件)：

G03F 7/11 503 ,  C09D133/24 ,  G03F 7/32 ,  H01L 21/027 ,  C08F220/54

FI (5件)：

G03F 7/11 503 ,  C09D133/24 ,  G03F 7/32 ,  C08F220/54 ,  H01L 21/30 574