特許

J-GLOBAL ID：200903035654178864

MFCインストーラ

発明者： 板藤 寛 ,  小池 和彦
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125194
公開番号（公開出願番号）：特開平10-320055
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 マスフローコントローラの交換を容易にし、またシール面の損傷を防止するMFCインストーラを提供すること。【解決手段】 本発明のMFCインストーラ1は、ガス供給ユニットの一部を構成するマスフローコントローラ105に装着可能な保持部21が開設され、そのマスフローコントローラ105に連設された両側のガス機器ブロックの形状に沿って、保持部21を挟んだ支持部23,24が形成されたボディ2と、ボディ2に対して突設されたステー3を介して一体に形成されたハンドル4と、マスフローコントローラ105を配管ブロックへ固定する穴付ボルトの穴に対して嵌入可能な、ボディ2に装着されたビット5,5...とを有する。

請求項（抜粋）：

ガス供給ユニットの一部を構成するマスフローコントローラに装着可能な保持部が開設され、そのマスフローコントローラに連設された両側のガス機器ブロックの形状に沿って、前記保持部を挟んだ支持部が形成されたボディと、前記ボディに対して突設されたステーを介して一体に形成されたハンドルと、前記マスフローコントローラを配管ブロックへ固定する穴付ボルトの穴に対して嵌入可能な、前記ボディに装着されたビットとを有することを特徴とするMFCインストーラ。

IPC (3件)：

G05D 7/00 ,  G01F 1/00 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

G05D 7/00 Z ,  G01F 1/00 X ,  G01F 1/00 G ,  H01L 21/205