特許
J-GLOBAL ID：200903035657670867
半導体デバイスの試験装置および試験方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
雨貝 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-113071
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296332
出願日： 2000年04月14日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：
【要約】【課題】 試験時間を短縮することができる半導体デバイスの試験装置および試験方法を提供すること。【解決手段】 テスタプロセッサ10は、試験範囲を測定の分解能分広げた後に、その上限と下限のそれぞれに対応したパス値とフェイル値をセットする。テスタプロセッサ10は、これらのパス値およびフェイル値に対応する実際のパス判定、フェイル判定をスキップして、次の測定位置を計算して、DUT100に対するバイナリサーチ法を用いたACパラメトリック試験を実施する。
請求項（抜粋）：
半導体デバイスに対して所定の試験範囲に含まれるパス/フェイルの境界をバイナリサーチ法に基づいて検出する半導体デバイスの試験装置において、前記試験範囲の上限値と下限値のいずれか一方をパス値、他方をフェイル値に設定する初期値設定手段と、前記初期値設定手段によって設定された前記パス値および前記フェイル値における測定をスキップして、前記半導体デバイスに対するバイナリサーチ法による測定を行うデバイス測定手段と、を備えることを特徴とする半導体デバイスの試験装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/28 H
, G01R 31/28 B
, G01R 31/28 R
2G032AA01
, 2G032AA07
, 2G032AB01
, 2G032AC03
, 2G032AD02
, 2G032AE08
, 2G032AE12
, 2G032AG02
, 2G032AK01
