特許
J-GLOBAL ID：200903035664338940
表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-154741
公開番号（公開出願番号）：特開平9-003625
出願日： 1995年06月21日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【目的】 被処理物表面の有機物及び水分を除去すると共に機械加工変質層を元の組織に変態させて被処理物の品質を維持し得る表面処理方法を提供する。【構成】 被処理物Sの表面には、機械研磨及び/又はブラスト処理が施してあり、これらの物理的処理によって被処理物はその表面の汚れの殆どを除去してある。通水路4内に冷却水を通流してヘッド1の先端部分を冷却し、またガス通流路8にシールドガスを供給して外ノズル2の開口部5から被処理物Sの表面に吹きつけてガスカーテンを形成する。そして、直流電源15から所要の出力で電極10及び内ノズル6に印加してアーク放電させ、作動ガス通流路9に例えば窒素ガスを所要の流量で導入し、アーク放電によってプラズマを生成し、内ノズル6の開口部7からプラズマジェットとして被処理物Sの表面に放射する。
請求項（抜粋）：
金属製の被処理物の表面を処理する方法であって、前記被処理物の表面を物理的に処理する工程と、被処理物の表面をプラズマで処理する工程とを含むことを特徴とする表面処理方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, B24C 1/00
, H05H 1/32
C23C 14/04 A
, B24C 1/00 Z
, H05H 1/32
