特許
J-GLOBAL ID：200903035669784248
薄膜熱電対
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-014368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218348
出願日： 1994年02月08日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】悪環境下において長時間安定に表面温度を測定するのに好適な薄膜熱電対を提供する。【構成】本発明の薄膜熱電対は、表面保護層としてダイヤモンド薄膜又は立方晶窒化硼素薄膜のいずれか一方、あるいはダイヤモンド薄膜及び立方晶窒化硼素薄膜を積層してなることを特徴とするものである。本発明の薄膜熱電対は、従来には見られない優れた機械的強度、化学的安定性を有するので、高温多湿下や腐食雰囲気等悪環境下においても、優れた応答速度と測定精度を損なうことなく、長時間安定して表面温度を測定することが可能となる。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上に、薄膜熱電対素子と該薄膜熱電対素子を保護する表面保護層とからなる薄膜熱電対において、該表面保護層が、ダイヤモンド薄膜又は立方晶窒化硼素薄膜のいずれか一方、あるいは前記ダイヤモンド薄膜及び前記立方晶窒化硼素薄膜を積層してなることを特徴とする薄膜熱電対。
IPC (2件)：
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