特許
J-GLOBAL ID：200903035670189833
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-053889
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222434
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 2軸の角速度の検出ができる小型で検出感度、検出精度ともに高く、かつ、安価に製造できる角速度センサを得る。【解決手段】重錘体と支持部と可撓基板を一体に形成した振動体と、該振動体に、少なくとも励振電極と検出電極を形成した圧電素子を貼付しセンサ体を構成する。補助基板上には減衰手段と、接続手段を設け、前記センサ体を固定するとともに前記センサ体と電気的導通を補助基板ととれるようにする。ベースに回路固定手段を設け、回路基板を固定する。前記回路基板と、前記補助基板は、結合手段により、補助基板と電気的に、また機械的に結合される。前記ベース上にはカバーが取り付けられ、センサ体等が保護される。
請求項（抜粋）：
板状の可撓基板に重錘体とベンディング振動のノード部を支持する支持部とを一体に形成した振動体に、少なくとも励振電極と検出電極を形成した板状の圧電素子を貼付して構成されるセンサ体と、該センサ体の支持部を固定し、かつ、漏れ振動を減衰させる減衰手段と、該減衰手段を固定し、前記圧電素子に形成された電極と電気的に接続する接続手段を備えた補助基板と、励振手段、コリオリ力検出手段、演算手段を備えた回路基板と、前記補助基板と、前記回路基板との相互の位置関係を定め、かつ、電気的に接続させる結合手段と、前記回路基板を固定し、かつ電気的に接続する回路基板固定手段を備えたベースと、前記センサ体、補助基板、回路基板、結合手段を保護するカバーとで構成される角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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