弾性表面波を用いた超音波霧化器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022422
公開番号（公開出願番号）：特開平7-232114
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】 10MHzから数100MHz程度の高周波で動作する、小型の弾性表面波を用いた超音波霧化装置を提供する。【構成】一対の櫛形電極2が形成される圧電材料からなる振動子1と、一対の櫛形電極2に接続され、弾性表面波を生ぜしめる高周波電源8と、振動子1とギャップを介して配置されるスリット5が形成されるカバー4と、前記ギャップにチューブ6を介して液体供給口7より液体を供給する。

請求項（抜粋）：

(a)一対の櫛形電極が形成される圧電材料からなる振動子と、(b)前記一対の櫛形電極に接続され、弾性表面波を生ぜしめる高周波電源と、(c)前記振動子とギャップを介して前記振動子の一部に配置され、ギャップ端にスリットが形成されるカバーと、(d)前記ギャップに液体を供給する手段とを具備する弾性表面波を用いた超音波霧化器。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-224656
超音波トランスデューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-218335 出願人：戸田耕司

審査官引用 (2件)

特開平3-224656
超音波トランスデューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-218335 出願人：戸田耕司

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