特許

J-GLOBAL ID：200903035680832157

走査型顕微鏡装置

発明者： 平山 広
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347789
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166212
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、画像情報の取込み条件の調整を適切に効率よく実行できる走査型顕微鏡装置を提供する。【解決手段】ステージ107に載置された試料108上にスポット光を走査することで、試料108を観察する際に、スポット光による試料108上の走査により1ラインごとの画像情報を取り込むとともに、試料108上の走査の間引き条件を複数設定可能にしていて、ステージ107の移動または光検出器111の感度調整により画像情報の取込み条件が調整されると、この取込み条件の調整に対応させてスポット光による試料108上の走査の間引き条件を切換える。

請求項（抜粋）：

ステージに載置された試料上にスポット光を走査させ、該試料からの光に基いて観察画像を得る走査型顕微鏡装置において、前記スポット光による前記試料上の走査により1ラインごとの画像情報を取り込むとともに、前記試料上の走査の間引き条件を複数設定可能にした画像情報取込み手段と、この画像情報取込み手段での画像情報の取込み条件を調整する取込み条件調整手段と、前記画像情報取込み手段での前記スポット光による前記試料上の走査の間引き条件を前記取込み条件調整手段での画像情報の取込み条件の調整に対応させて切換える制御手段とを具備したことを特徴とする走査型顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10

Fターム (8件)：

2H045AB01 ,  2H045BA13 ,  2H045DA21 ,  2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 走査型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-314856   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-075504   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-059604   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光走査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-148597   出願人：株式会社ニコン