特許

J-GLOBAL ID：200903035683141279

レジスト組成物

発明者： 金谷 大介 ,  小寺 孝兵 ,  池谷 晋一
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-012444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204140
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 液状のレジスト組成物における塗布性能と解像性の両立を図る。【構成】 液状のレジスト組成物に配合する非ニュートン性付与物質として、その他の成分の少なくとも1種に膨潤する物質、たとえば、ひまし油変性物を用いる。

請求項（抜粋）：

非ニュートン性付与物質を含む液状のレジスト組成物であって、非ニュートン性付与物質として、その他の成分の少なくとも1種に膨潤する物質が用いられていることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00