特許
J-GLOBAL ID：200903035683746030
パルス駆動型の電子サイクロトロン共振イオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有近 紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291265
公開番号（公開出願番号）：特開平6-139978
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】 イオンを効率よく取り出す。【構成】 パルス状マイクロ波発生装置20で発生するパルス状のマイクロ波8をマイクロ波導波管9でプラズマチャンバ4内に供給し、電子サイクロトロン共振条件が満たされる期間と満たされない期間を交互に作る。マイクロ波8が供給されて電子サイクロトロン共振条件を満たす期間に、電子サイクロトロン共振領域1を形成し、その電子サイクロトロン共振領域1でイオンを生成し、高濃度にする。マイクロ波の供給が途絶えて電子サイクロトロン共振条件を満たさない期間に、高濃度のイオンを一気に引出電極5により外部に取り出す。【効果】 無駄なイオンの導出をなくすと共にイオン電流を大きくすることが出来る。そこで、間欠的に大きなイオン電流を必要とする用途に好適である。
請求項（抜粋）：
永久磁石とソレノイドコイルとによる合成磁場および高周波によりプラズマチャンバ内に電子サイクロトロン共振領域を形成し、その電子サイクロトロン共振領域でイオンを生成し、その生成したイオンを外部へ導出する電子サイクロトロン共振イオン源において、プラズマチャンバ内にパルス状の高周波を供給するパルス高周波供給手段を具備し、電子サイクロトロン共振領域を断続的に形成することを特徴とするパルス駆動型の電子サイクロトロン共振イオン源。
IPC (3件)：
H01J 37/08
, H01J 27/18
, H05H 7/10
