特許
J-GLOBAL ID：200903035685410862
液体吐出ヘッドおよびその製造方法と液体吐出装置
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345104
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225706
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 可動部材の可動範囲を規制し、吐出特性向上と液体吐出の周波数向上とを両立する。【解決手段】 素子基板1はシリコンからなり発熱体2が設けられ、発熱体2と対向するように片持梁状の可動部材6が配設されている。可動部材6は、吐出口5側に自由端6bを有し、可動部材6と発熱体2との間が気泡発生領域10となる。さらに、素子基板1には、個々の発熱体に対応した液流路7を区画する流路側壁9が形成されている。また、シリコンからなる天板3上に、窒化シリコン層が形成された後、パターニング及びエッチングによって突起11が形成されている。この天板3が流路側壁7の上端に貼り合わされている。発熱体2が発熱すると液体に気泡が発生して成長し、可動部材6は支点6aを中心に吐出口5側に大きく開くように変位するが、突起11によってその変位量が規制される。
請求項（抜粋）：
互いに対向する状態で固定される素子基板および天板と、前記天板と前記素子基板との間に設けられ複数の液流路を区画する複数の流路側壁と、複数の前記液流路内にそれぞれ位置するように前記素子基板の表面に並列に設けられた複数の吐出エネルギー発生素子と、前記複数の吐出エネルギー発生素子のそれぞれに対向するように前記素子基板上に設けられ、前記液流路内の液体の進行方向の上流側の端部が固定され、下流側の端部が自由端となる片持ち梁状の複数の可動部材と、前記天板に設けられ、前記複数の可動部材の変位量をそれぞれ規制する複数の突起とを有し、前記素子基板および前記天板が同質材料である液体吐出ヘッドにおいて、前記流路側壁が前記素子基板上に形成され、前記天板には前記流路側壁の上端面がはめ合わされる凹部を有する係合層が設けられている液体吐出ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
