特許

J-GLOBAL ID：200903035688694985

プラズマ処理装置

発明者： 吉識 隆裕 ,  小町 恭一 ,  片山 克生 ,  馬渕 博嗣 ,  飯尾 浩一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089476
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296989
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【構成】 誘電体層20と耐熱性板13との間に温風24aを供給するための温風供給手段24を備えているプラズマ処理装置。【効果】 温風24aにより耐熱性板13を所定温度に維持することができるため、温度の変化に伴って生じる耐熱板13のQ値の変動を抑制することができ、Q値の変動に伴って生じるマイクロ波の誘電損失の変動を抑制することができ、誘電損失の変動に伴って生じる電界強度の変動を抑制することができる。この結果、電界強度の変動に伴って発生するプラズマ密度の変動を抑制することができ、プラズマ処理速度の変動を小さくすることができ、プラズマ処理の効率を高めることができる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波導波路を形成すべく配置された誘電体層と、該誘電体層に対向配置されるマイクロ波を透過する耐熱性板で気密に封止された金属製容器と、該金属製容器内に配設された試料台とを備えたプラズマ処理装置において、前記誘電体層と前記耐熱性板との間に温風を供給するための温風供給手段を備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (4件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/302 H