特許

J-GLOBAL ID：200903035691977017

低圧試験室の圧力制御装置

発明者： 原 隆 ,  仲本 郁雄 ,  山中 庸詳 ,  宮永 俊晴
出願人/特許権者： 三機工業株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132535
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 換気を必要とする低圧試験室の圧力制御において、高精度の制御を実現する。制御上の応答遅れによるオーバーシュートなどをなくす。【解決手段】 排気系の流量を一定に制御し、この流量をセ氏0度、1気圧の標準状態に換算し、入力される圧力変化速度から求めた標準状態の加減圧風量と、標準状態に換算された排気系の質量流量との和から吸気制御弁に与えるCv値を求め、予め求めた補正値によりCv値を補正し、これを制御量として吸気制御弁に与える。

請求項（抜粋）：

低圧室と該低圧室に空気を供給する給気系と前記低圧室の空気を外部に放出する排気系とを備える低圧試験室の圧力制御装置において、前記排気系の検出圧力に基づき、該排気系の流量をその設定値に近づくように制御する排気系制御手段と、前記排気系の流量値を、少なくとも前記排気系の圧力に基づき、予め定められた標準状態における質量流量値に換算する排気流量換算手段と、入力される圧力変化速度を前記低圧室で実現するのに必要な給気と排気との差分に相当する、前記標準状態における加減圧質量流量を求める加減圧流量生成手段と、前記排気流量換算手段が出力する標準状態における質量流量値と、前記加減圧流量生成手段が出力する標準状態における加減圧質量流量とに応じて、前記給気系の質量流量を制御する給気系制御手段とを設けたことを特徴とする低圧試験室の圧力制御装置。