特許
J-GLOBAL ID:200903035696432418

ダイヤモンド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-188721
公開番号(公開出願番号):特開平11-049596
出願日: 1997年07月14日
公開日(公表日): 1999年02月23日
要約:
【要約】【課題】 マイクロ波透過窓で、誘電率及び誘電損失が温度に対し比較的変動せず、窓の温度の上昇を起こさないCVDダイヤモンド製マイクロ波透過窓を提供する。【解決手段】 次の性質:(i) 少なくとも3200mm2 の活性領域、(ii) 20°C以下の温度で次の条件の一方又は両方を満足する活性領域に亙る平均誘電損失:10.6μmで0.1cm-1未満の吸収係数、140GHzで150マイクロラジアンを超えない損失角、を示すCVDダイヤモンド層を有する赤外以上の長い波長に対する電磁透過窓。
請求項(抜粋):
次の性質:(i) 少なくとも3200mm2 の活性領域、(ii) 20°C以下の温度で次の条件の一方又は両方を満足する、活性領域に亙る、平均誘電損失:10.6μmで0.1cm-1未満の吸収係数、140GHzで150マイクロラジアンを超えない損失角、を示すCVDダイヤモンド層を有する赤外以上の長い波長に対する電磁透過窓。

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