加速度検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295785
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136575
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】外部加速度によって容量が変化する対となる可変コンデンサ4A,4Bの固有容量のバランスを良くし、加速度検出性能が優れ、装置の歩留りが向上し、製造コストの安価な加速度検出装置1を提供する。【構成】加速度検出装置1は、多層基板10と回路部8とガラス基板17と加速度検知部3と検知部カバー6を順に積層一体化した構造を持つ。加速度検知部3には、外部加速度によって容量が変化する対となる可変コンデンサ4A,4Bを形成し、可変コンデンサ4A,4Bは、多層基板10に形成された補正用コンデンサ12A,12Bと接続している。補正用コンデンサ12A,12Bは、多層基板10の露出底面に露出形成された底面電極13A,13Bを有し、容量の大きい方の可変コンデンサ4A,4Bに接続している底面電極13A,13Bをレーザ加工して電極面積を減少し、可変コンデンサ4A,4Bの固有容量のバランスをとることができる。

請求項（抜粋）：

外部加速度を静電容量変化によって検出する加速度検知部が形成された素子基板と、加速度検知部の静電容量変化を電気信号に変換する回路部と、この回路部に接続される電気回路が形成されている多層基板とを有し、前記加速度検知部は外部加速度の変化によって静電容量を変化する対となる加速度検知コンデンサを備え、この対となる加速度検知コンデンサの差動容量に基づいて外部加速度を検出する加速度検出装置において、前記対となる加速度検知コンデンサの一方又は両方には互いの加速度検知コンデンサの固有容量のバランスをとる補正用コンデンサが接続されていることを特徴とする加速度検出装置。

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