特許
J-GLOBAL ID：200903035701532612
紫外線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-038711
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252262
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 粘着シ-ト4上の貼付ウェ-ハ1の外周部の不良ペレット3cの剥離、飛散を防止する。【構成】 粘着シ-ト4の下面近傍に遮光板15を配置して、ペレットの外形不良領域13へ照射される紫外線発生光源7よりの紫外光を遮光するようにする。良領域13へ照射される紫外線発生光源7よりの紫外光を遮光するようにする。この遮光板15を可動可能に対向した対の板状遮光体18、22で構成して、遮光領域を可変できるように構成する。
請求項（抜粋）：
紫外線硬化型粘着材が塗布された粘着シ-ト上に多数の定型の半導体素子が形成された半導体ウェ-ハを貼付け、前記粘着シ-トの下方に配置した紫外線発生光源から粘着シ-トに紫外線を照射して粘着材を硬化させ、粘着シ-トの粘着力を低下させて半導体素子を剥離し易くした紫外線照射装置において、前記粘着シ-トの下面近傍に、半導体ウェ-ハ外周部の不定型半導体素子領域に紫外光を遮光する遮光板を配置したことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/78
, H01L 21/26
, H01L 21/52
, H01L 21/68
