特許

J-GLOBAL ID：200903035710380175

ペリクル容器

発明者： 木村 隆昭 ,  赤川 勝幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265809
公開番号（公開出願番号）：特開平10-114388
出願日： 1996年10月07日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 ペリクル枠に塗布されている接着剤が長期保存により変形するのを防止し、かつ再使用に際し、洗浄による異物除去の容易なペリクル容器を提供する。【解決手段】 ペリクル枠1に塗布されている接着剤3を保護する接着剤保護シート4をペリクル枠1の外形形状よりも大きな形状とする。この接着剤保護シート4をリブ21と載置部15との間で挟持して接着剤3に力を加えることなくペリクル5を固定し、ペリクル5の遊動を防ぐ。さらに、ペリクル5を載置台10に載置する際の位置決めに用いる位置決め部12の高さを接着剤保護シート14の厚さより高く、かつ1mm以下とし、ペリクル容器洗浄の際の異物除去を容易にする。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠と、前記ペリクル枠の一の面に張設されたペリクル膜と、前記ペリクル枠の前記ペリクル膜張設面と対向する他の面に塗布された接着剤と、前記ペリクル枠の外形よりも一様または部分的に大きな接着剤保護シートとから構成されるペリクルを収納するペリクル容器であって、前記ペリクルを載置する載置台と、前記載置台を開閉自在に覆う蓋体とを有するペリクル容器において、前記蓋体の閉成時に前記接着剤保護シートを前記載置台との間で挟持する挟持部材を有することを特徴とするペリクル容器。

IPC (3件)：

B65D 85/86 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B65D 85/38 R ,  G03F 1/14 M ,  G03F 1/14 J ,  H01L 21/30 502 P