特許
J-GLOBAL ID:200903035712040266
半導体レーザ素子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
新居 広守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-176841
公開番号(公開出願番号):特開2006-041490
出願日: 2005年06月16日
公開日(公表日): 2006年02月09日
要約:
【課題】 窒化物半導体層を用いた青紫色半導体レーザ素子において、低閾値電流かつ高出力動作を可能とする高寿命の半導体レーザ素子を提供する。【解決手段】 GaN基板1上にn型GaN層2、n型AlGaNクラッド層3、第1のn型GaNガイド層4及びp型AlGaNブロック層6(電流阻止層)が順次形成され、さらにp型AlGaNブロック層6の一部にストライプ状の開口部が形成されており、この開口部を覆う形で第2のn型GaNガイド層5が形成され、その上にInGaN多重量子井戸活性層7、アンドープGaNガイド層8、p型AlGaN電子障壁層9、p型AlGaNクラッド層10及びp型GaNコンタクト層11が順次形成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板の上に形成された、開口部が設けられたp型または半絶縁性の電流阻止層と、
少なくとも前記開口部内に形成された、n型の半導体層と、
前記電流阻止層の上に形成された発光層とを備える
ことを特徴とする半導体レーザ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01S5/343 610
, H01S5/223
Fターム (18件):
5F173AA07
, 5F173AA44
, 5F173AA47
, 5F173AA48
, 5F173AF58
, 5F173AF98
, 5F173AH22
, 5F173AJ04
, 5F173AJ42
, 5F173AP05
, 5F173AP19
, 5F173AP33
, 5F173AP57
, 5F173AR15
, 5F173AR33
, 5F173AR52
, 5F173AR82
, 5F173AR84
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特開平4-370993号公報
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半導体レーザ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-235011
出願人:ローム株式会社
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半導体レーザ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-183002
出願人:松下電器産業株式会社
審査官引用 (2件)
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