特許
J-GLOBAL ID：200903035715317404
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073923
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271342
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】共振周波数が高く且つ剛性の高いスキャナを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー20の探針22を試料16表面に沿ってXY方向に走査させることが可能なXY走査機構24と、カンチレバーの探針を試料に対してZ方向に移動させることが可能なZ移動機構26と、XY走査機構とZ移動機構との間に設けられ且つカンチレバーの変位を検出することが可能な変位検出機構28とを備えている。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの探針を試料表面に沿って水平方向に走査させることが可能な走査機構と、カンチレバーの探針を試料に対して垂直方向に移動させることが可能な移動機構と、走査機構と移動機構との間に設けられ且つカンチレバーの変位を検出することが可能な変位検出機構とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 X
